半導(dǎo)體超純氣體（UHP）管路系統(tǒng)和超高真空（UHV）系統(tǒng)關(guān)鍵組件
CVD（化學(xué)氣相沉降），Etch（刻蝕）設(shè)備和氣體/化學(xué)品輸送系統(tǒng)等。
